碳化硅拋光液
磷化銦拋光液是廣東騰駿化工科技有限公司生產的新一代水溶性高純度CMP漿料,具有穩定性好、濃度高、拋光速率快等特點。該產品在實際應用中憑借高稀釋比例、低金屬離子污染等卓越的性能得到了客戶的充分肯定,主要用于磷化銦晶片的拋光工藝中。
二、主要特點漿料采用我公司自主合成生產的高純納米SiO2水溶膠作為磨料,具有生產自動化高,穩定性好,濃度較高,粒徑均一性好,雜質沾污少等特點。該產品選用的輔助試劑多為有機試劑,避免了無機物對設備的腐蝕以及操作的危險性。產品無毒無味,非常適用于晶片的拋光工藝。在拋光中根據需要可以優化不同配比,均能達到最佳使用效果。與同類產品相比,該產品能夠有效控制晶片表面的各種金屬沾污,主要參數指標均能滿足IC要求。
三、主要用途主要用于晶片的高質量拋光。
四、基本參數pH值 | 比重 | 粘度(mPa.s,25℃) | 粒徑(nm) | SiO2% | 外觀 |
10.0-11.0 | 1.265-1.300 | ≤5 | 120-140 | 38-42 | 乳白 |
1、漿料使用過程中盡量避免直接暴露,防止污染物進入漿料中造成劃傷。
2、冬季氣溫較低(<5℃)時,漿料不可放置室外,需存放在恒溫倉庫,一旦發生凝膠將不可使用。
3、漿料使用過程中需要及時清洗管路和器具,避免漿料長期殘留在管路和容器中造成凝膠,引起晶片表面劃傷。
4、漿料循環使用時,需要在管口添加過濾裝置,以免發生凝膠而又反復應用時造成晶片表面劃傷。
六、運輸及保存1、運輸與存放溫度為5-40℃,25℃為最佳存放溫度,存放時應避光,以避免拋光液變質。
2、保質期一年,建議半年內使用。
3、避免金屬、顆粒污染,避免強電解質的接觸。
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