TJHG-SH-2125型硅材料CMP拋光液是廣東騰駿化工科技有限公司研發生產的應用于各種硅片及晶體材料拋光的高端產品。該產品具有去除速率高、表面粗糙度好、無劃傷等優點，已經在國內多家生產線上使用，能夠滿足生產使用要求，可以替代現有國外同類進口產品。

TJHG-SH-22125型硅材料CMP拋光液采用我司自主合成的SiO2水溶膠作為磨料，而磨料合成過程以及拋光液的生產采用全自動化控制，能夠確保產品批次間的穩定性與一致性。與同類產品相比，該產品具有良好的穩定性和分散性；粒度可控，根據不同需要可生產不同粒度的產品，利用大粒徑二氧化硅粒子達到高速拋光的目的；拋光表面效果好以及對工件無損傷，達到高平坦化加工等優點。

主要用于硅片及其他半導體材料的拋光。

建議TJHG-SH-2125型漿料和去離子水的配比為1：15-20，也可根據實際工藝要求改變配比。

1、漿料使用過程中盡量避免直接暴露，防止污染物進入漿料中造成劃傷。

2、冬季氣溫較低（<5℃）時，漿料不可放置室外，需存放在恒溫倉庫，一旦發生凝膠將不可使用。

3、漿料使用過程中需要及時清洗管路和器具，避免漿料長期殘留在管路和容器中造成凝膠，引起晶片表面劃傷。

4、漿料循環使用時，需要在管口添加過濾裝置，以免發生凝膠而又反復應用時造成晶片表面劃傷。

1、運輸與存放溫度為5-40℃，25℃為最佳存放溫度，存放時應避光，以避免拋光液變質。

2、保質期一年，建議半年內使用。

3、避免金屬、顆粒污染，避免強電解質的接觸。

25kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。