TJHG-SH-558型藍寶石基片CMP拋光液是廣東騰駿化工科技有限公司生產的高純度膠體漿料。該產品是為了適應藍寶石行業提高加工效率的需要而生產的新一代藍寶石基片CMP拋光液，應用在藍寶石襯底晶片4寸片的雙面拋光工藝中，產品投放市場后達到了較好的使用效果。產品CMP加工中具有移除速率高、懸浮性強、易清洗、使用壽命長等特點。

TJHG-SH-558型藍寶石基片CMP拋光液選用我司自行生產的單質硅水解法納米二氧化硅水溶膠作為磨料，具有濃度較高，粒徑均一性好，雜質沾污少等特點。該產品選用的輔助試劑多為有機試劑，避免了無機物對設備的腐蝕以及操作的危險性。產品無毒無味，適合藍寶石行業封閉性較好的生產環境使用。產品在CMP工藝中具有易清洗、移除效率高、拋光平整度高等特點。在CMP過程中根據需要可以優化不同配比，均能達到最佳使用效果。同時，該產品在CMP過程中無結晶，劃傷少，穩定性好，無毒無味。

主要用于各種尺寸的藍寶石基片的高質量平整化加工。

TJHG-SH-558 型藍寶石拋光液建議和去離子水的配比為1:1循環使用或1:2-3不循環使用， 也可根據實際要求改變配比。

1、CMP拋光液使用過程中盡量避免直接暴露，防止污染物進入漿料中造成劃傷。

2、冬季氣溫較低（<5℃）時，漿料不可放置室外，需存放在恒溫倉庫，一旦發生凝膠將不可使用。

3、漿料使用過程中需要及時清洗管路和器具，避免漿料長期殘留在管路和容器中造成凝膠，引起晶片表面劃傷。

4、拋光液循環使用時，需要在管口添加過濾裝置，以免發生凝膠而又反復應用時造成晶片表面劃傷。

1、運輸與存放溫度為5-40℃，25℃為最佳存放溫度，存放時應避光，以避免拋光液變質。

2、保質期一年，建議半年內使用。

3、避免金屬、顆粒污染，避免強電解質的接觸。

25kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。