砷化鎵CMP拋光液
TJHG-SH-1855TJHG-SH-1855型砷化鎵CMP拋光液是廣東騰駿化工科技有限公司生產的新一代水溶性高純度CMP漿料,具有穩定性好、濃度高、拋光速率快等特點。該產品在實際應用中憑借高稀釋比例、低金屬離子污染等卓越的性能得到了客戶的充分肯定,主要用于砷化鎵晶片的拋光工藝中。
二、主要特點TJHG-SH-1855型 CMP拋光液采用我公司自主合成生產的高純納米SiO2水溶膠作為磨料,具有生產自動化高,穩定性好,濃度較高,粒徑均一性好,雜質沾污少等特點。該產品選用的輔助試劑多為有機試劑,避免了無機物對設備的腐蝕以及操作的危險性。產品無毒無味,非常適用于集成電路用砷化鎵晶片的拋光工藝。在拋光中根據需要可以優化不同配比,均能達到最佳使用效果。與同類產品相比,該產品能夠有效控制晶片表面的各種金屬沾污,主要參數指標均能滿足IC要求。
三、主要用途TJHG-SH-1855型 CMP漿料主要用于砷化鎵晶片的高質量拋光,也可用于鍺片的拋光。
四、基本參數pH值 | 比重 | 粘度(mPa.s,25℃) | 粒徑(nm) | SiO2% | 外觀 |
10.0-11.0 | 1.265-1.300 | ≤5 | 120-140 | 38-42 | 乳白色 |
根據工藝將拋光原漿料按一定比例與去離子水混合后使用。
1、漿料使用過程中盡量避免直接暴露,防止污染物進入漿料中造成劃傷。
2、冬季氣溫較低(<5℃)時,漿料不可放置室外,需存放在恒溫倉庫,一旦發生凝膠將不可使用。
3、漿料使用過程中需要及時清洗管路和器具,避免漿料長期殘留在管路和容器中造成凝膠,引起晶片表面劃傷。
4. 漿料循環使用時,需要在管口添加過濾裝置,以免發生凝膠而又反復應用造成晶片表面劃傷。
七、運輸及保存1、運輸與存放溫度為5-40℃,25℃為最佳存放溫度,存放時應避光,以避免漿料變質。
2、保質期一年,建議半年內使用。
3、避免金屬、顆粒污染,避免強電解質的接觸。
包裝規格25kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。
134-1285-7809
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