①溫度：溫度升高，加強了拋光液化學反應才能，拋光速率添加。但過高的溫度會引起拋光液的揮發，以及加速化學反應，外表腐蝕嚴峻，因而會發生不均勻的拋光效果，使拋光質量下降。
②pH值：拋光液的pH值越高，堿性越強，反應速率越快。但pH值對被拋外表刻蝕、磨料的分解與溶解度、拋光液的穩定性有很大的影響，然后影響資料的去除率和外表質量，因此應嚴厲控制。
③壓力：一般地，壓力越大，拋光速率越快。可是壓力足夠大時，拋光速率會稍微下降，原因是壓力大，拋光墊承載拋光液才能下降。別的，壓力大易構成破片現象。
④轉速：轉速添加，會引起拋光速率添加。但轉速過高又會使拋光液在拋光墊上散布不均勻，影響拋光質量。
⑤拋光液濃度：拋光液的濃度添加時，去除率也隨之添加，但當磨粒濃度超過某一值時，材料去除率將停止添加，保持一個常數值，這種現象稱為去除飽和。并且過高的濃度，有可能造成表面缺點(劃痕)添加，影響外表質量。
